LCD RF plazma enjamlary

LCD RF Plazma enjamlary LCD, OLED we beýleki tekiz panelli displeý materiallaryny ýerüsti bejermek üçin işlenip düzülen ýokary - öndürijilik ulgamy. Durnukly gaýtadan işlemek we ýokary geçiş deň derejede möhüm bolan häzirki zaman önümçiliginiň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredildi. Umumy ulgam 880mm × 790mm × 1710mm, wakuum kamerasynyň ululygy 450mm × 450mm × 450mm. Her bir elektrod plastinkasy 410mm × 430mm bolup, bir aýlawda bir wagtyň özünde bäş gat substrat gaýtadan işlenip bilner.

 

Funksiýa nukdaýnazaryndan, enjam ulanyjy - dostlukly HMI üpjün edýär, bu RF çykyş güýji, wakuum nasosyň dowamlylygy, aýry-aýry bejeriş segmentleri we gaz akymynyň tizligi ýaly esasy proses parametrlerini gönüden-göni sazlamaga mümkinçilik berýär. Bu sazlamalar dürli materiallara ýa-da önümçilik talaplaryna çeýeligi we yzygiderliligi hödürläp, dürli materiallara ýa-da amal talaplaryna uýgunlaşmak üçin çalt üýtgedilip bilner.

Gaz iberiş ulgamy üç sany garaşsyz kanaly goldaýar we azot (N₂), argon (Ar), wodorod (H₂) we kislorod (O₂) dolandyryp bilýär. Akym hasaplaýjylary 0–200 ml / min aralygynda kalibrlenýär we gözegçilik takyklygy üýtgemeleri 5% -den pes saklaýar. Majorhli esasy pnewmatiki komponentler SMC tarapyndan üpjün edilýär we kameranyň möhürlenmegi talap edilýän şertlerde uzak - durnuklylygy üpjün edip, çydamly ftor - rezin gazetlere daýanýar. Plazma, 13.56 MGs-da işleýän, - adaptasiýa RF elektrik üpjünçiligi arkaly döredilýär, iň ýokary çykarylyşy 1 kWt bolup, birmeňzeş bejermek üçin ygtybarly energiýa üpjünçiligini kepillendirýär.

Gurluş taýdan kamera, okislenmegi we poslamagy azaltmak üçin ýokary - arassalygy 304 poslamaýan polatdan öndürilýär. Ulgam wakuum bitewiligi üçin goşa {{3} al möhür dizaýnyny ulanýar, kameranyň arka tarapyndaky mis elektrod saklaýjylary bolsa birnäçe nurbat gulplary arkaly gorizontal elektrod plitalaryny gorap, durnuklylygy we energiýa geçirişini gowulandyrýar. Goşmaça tarap elektrodlary hasam güýçlendirýär. Wakuum balansy optimallaşdyryldy: çalt - çykaryjy klapan, 5-10 sekundyň içinde basyşy deňleşdirmäge mümkinçilik berýär, boş wagt azalýar we öndürijiligi ýokarlandyrýar.

Işleýiş howpsuzlygyny üpjün etmek üçin, enjam näsazlyk duýduryş ulgamy bilen enjamlaşdyrylandyr. Islendik adaty bolmadyk hadysanyň senesini, wagtyny we sebäbini ýazýar, şol bir wagtyň özünde kamerany we iş böleklerini goramak üçin awtomatiki ýapylýar.

Ulanyş nukdaýnazaryndan bu enjam ip {0} ip çip aşagyndaky doldurgyç amallary üçin giňden kabul edilýär. Doldurylmazdan ozal plazmany arassalamak, ýerüsti işjeňleşmegi ep-esli ýokarlandyrýar, çyglylygy ýokarlandyrýar we substrat bilen encapsulantyň arasyndaky ýelimi ýokarlandyrýar. Netijede, gaplamanyň hilini diňe bir gowulaşdyrmak bilen çäklenmän, ösen displeýiň we ýarymgeçiriji gurnamalaryň uzak - ygtybarlylygyny ýokarlandyrýar.

Gyzgyn bellikler: lcd rf plazma enjamlary, Hytaý lcd rf plazma enjamlary öndürijiler, zawod