Plazma etçeri ýörelgesi

Induktiw jübüt plazma eti (ICPE) himiki we fiziki prosesleriň utgaşmagynyň netijesidir. Onuň esasy ýörelgesi, wakuum we pes basyş astynda, ICP RF elektrik üpjünçiliginden emele gelýän radio ýygylygy toroidal birikdiriji rulonyň çykmagydyr. Belli bir mukdarda garyşyk gaz, ýokary {{2} ens dykyzlykly plazma döredip, ýalpyldawuk akym bilen birleşdirilýär. Aşaky elektrodda RF-nyň täsiri astynda bu plazma substratyň üstüni bombalap, ýarymgeçiriji materialyň substratyň nagyşly meýdanyndaky himiki baglanyşyklaryny döwýär. Bu üýtgäp durýan maddalar, gaz bilen täsir edip, substratdan gaz hökmünde bölünip, wakuum çyzygyndan çykarylýan üýtgäp durýan birleşmeleri emele getirýär.